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    SiC石墨盘

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     石墨托盘技术1)用于LED外延片加工石墨顶板;2)挡板结构内部晶片边缘休息;3)挡板与晶片衬底到两个层次之间的互补关系;4)保持挡板晶片衬底边缘重合边构成充分循环。 功能1)较低的热膨胀系数2)thermak导电性更好3)稳定的化学perfermance4)更好的耐蚀性5)较强的导电性 规范数量单位体积密度1.85克/立方厘米比电阻11 - 14 uΩm抗压强度90

    1. 详细信息

     石墨托盘

    技术
    1)用于LED外延片加工石墨顶板;
    2)挡板结构内部晶片边缘休息;
    3)挡板与晶片衬底到两个层次之间的互补关系;
    4)保持挡板晶片衬底边缘重合边构成充分循环。

     

    功能
    1)较低的热膨胀系数
    2)thermak导电性更好
    3)稳定的化学perfermance
    4)更好的耐蚀性
    5)较强的导电性

     

    规范
    数量单位
    体积密度1.85克/立方厘米
    比电阻11 - 14 uΩm
    抗压强度90 mpa
    挠曲强度40 mpa
    肖氏硬度60
    灰分500 ppm
    平均粒度20 um
    膨胀系数4.5 gte
    弹性模量11平均绩点


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